GB/T 4937的本部分規定了強加速穩態濕熱試驗(HAST)方法,用于評價非氣密封裝半導體器件在潮濕的環境下的可靠性。

2、強加速穩態濕熱試驗（HAST）一般說明

強加速穩態濕熱試驗通過施加嚴酷的溫度、濕度和偏置條件來加速潮氣穿透外部保護材料(灌封或密封)或外部保護材料和金屬導體的交接面。此試驗應力產生的失效機理通常與“85/85”穩態溫濕度偏置壽命試驗(見IEC 60749-5)相同。試驗方法可以從85℃/85% RH穩態壽命試驗或本試驗方法中選擇。在執行兩種試驗方法時,85℃/85%RH穩態壽命試驗的結果優先于強加速穩態濕熱試驗(HAST)。

本試驗方法應被視為破壞性試驗。

3、試驗設備

試驗需要一臺能連續保持規定的溫度和相對濕度的壓力容器——HAST試驗箱，同時提供電連接,試驗時給器件施加規定的偏置條件。

3.1 HAST試驗箱簡介

瑞凱儀器HAST設備用于評估非氣密性封裝IC器件、金屬材料等在濕度環境下的可靠性。通過溫度、濕度、大氣壓力條件下應用于加速濕氣的滲透，可通過外部保護材料（塑封料或封口），或在外部保護材料與金屬傳導材料之間界面。它采用了嚴格的溫度，濕度，大氣壓、電壓條件，該條件會加速水分滲透到材料內部與金屬導體之間的電化學反應。失效機制：電離腐蝕，封裝密封性。